４００mmｘ４００mm広範囲での高精度測定

・μｍレベルの測定を多数行いたい場合、複数ワークを同時に測定できると便利です

　しかし、例えば、４００ｍｍｘ４００ｍｍの広範囲で高精度の測定は従来難しかった

　広範囲では軸の精度が悪くμｍレベルの高精度測定はできなかった
　→これを軸の直進度の悪さをソフトで補正することによって高精度を達成した
　→温度変化による誤差もリアルタイム校正で高精度を達成した
　　これによって、高精度測定であるにも関わらず温度管理を厳しくしないでもよくなる

　測定内容は
　　・厚み
　　・平面度、ソリ、面粗さ
　　・外形寸法

　ワークは複数を自由な位置においても自動で位置を認識して、自動で測定する